相关证件: 
会员类型:
会员年限:18年
产品名称:微型光电传感器
产品类型:晶圆片托架落座传感器
产品型号:EE-SPY801 / SPY802
产品特点:
晶圆片托架的落座检测
• 通过与导槽并用的方式设定落座位置
• 与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂
• 独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架
• 采用抗干扰光的变调光方式
• 使用环保导线(无滑石粉)
附件(另售):
导槽 ( EE9-C01 / EE9-C02 )
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